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【半導体】韓国機械研究院、400nm級の超微細半導体回路リソグラフィ装置を国産化 [すらいむ★]

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1すらいむ ★
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2021/08/13(金) 16:21:06.38ID:CAP_USER
韓国機械研究院、400nm級の超微細半導体回路リソグラフィ装置を国産化

 韓国科学省傘下の韓国機械研究院(KIMM)が、韓国で初めて400nm(ナノメートル)級のレーザー直接描画(リソグラフィ)装置の国産化に成功した。
 半導体の生産性を飛躍的に向上させることができる技術として期待を集めている。

 KIMMの研究チームは、400nmレベルの微細な焦点を毎秒40mm速度で移動し、基板上にコーティングされたレジストを加工することができるレーザーリソグラフィ装置を開発した。

(以下略、続きはソースでご確認下さい)

コリア・エコノミクス  2021年8月12日 2021年8月12日
http://korea-economics.jp/posts/21081208/
2名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:25:13.69ID:CHQUkWZu
400nm級の超微細半導体回路?

今 最新 2nm出なかった?
3名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:25:23.83ID:a+Udyx9b
>>1
日本がレジストを輸出禁止にしたらどうなるの?
4名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:25:28.94ID:W86efJ5c
チョッパリざまぁwww
5名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:26:33.90ID:4IG7o0Ij
その基本の技術は全て日本からパクったもの。
2021/08/13(金) 16:27:37.30ID:u5O5HeXD
これはすごいこと?
7名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:29:42.85ID:nJ+4doYn
切り離すのに使うのはディスコ頼り
8名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:30:11.32ID:CHQUkWZu
大日本印刷、5ナノメートル対応 EUVリソグラフィ向けフォト ...

bakatixyon
9名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:31:36.74ID:CHQUkWZu
400nm
もしかして 1990年ころの技術
10名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:36:00.74ID:jtPTCODT
>>4
木炭車
2021/08/13(金) 16:37:18.28ID:m0VLUgcW
パターンニングしてるだけのように感じるね
今ならEUVのレチクルを大日凸版印が作る様だね
12名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:37:29.57ID:vkoEpc/l
>>4
良かったねシコリアンw
13名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:38:22.13ID:JNjcAQBE
現場で使えるようになるのは3年後です ってオチだろw  
14名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:40:04.85ID:9fzZL4Dp
400nmを今頃? ブッッ
15名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:40:21.36ID:CHQUkWZu
文ちゃん! 喜びの歌 歌って
2021/08/13(金) 16:40:51.01ID:9oQzBSW3
ザイコも国産化したら
2021/08/13(金) 16:43:44.08ID:b500BJeF
コリアエコノミクスとか韓国の電機関係ニュースは面白くていいわ
ニュースイッチ見ててもあんま夢がない
18名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:43:46.58ID:CHQUkWZu
100円ショップで売っているLEDライトの基盤みたいなもんか
19名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:46:04.80ID:CHQUkWZu
こんなもの取り上げて
はずかしくないの 
20名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:47:20.58ID:CQA8l+vw
400ナノメートルで微細てやっぱキチガイはちがうな
21名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:47:32.35ID:LF2tDush
レーザーリソグラフィだとマスクレスにできるけど、解像度が低い。400nmだと近紫外かなあ。
でもマスクレスは電子線リソグラフィが主流かと思っていたけど…
2021/08/13(金) 16:51:24.50ID:8PBuPzvt
30年ぐらい前はクオーツマスクを投入すると
アンローディングされるのに20日ぐらいかかっていたのだ
2021/08/13(金) 16:53:27.11ID:VMe2SLyH
また韓国が先進技術で世界の度肝を抜いたのか
技術大国と称される韓国だが日本は相手にもされずアメリカさえ抜いた可能性ある
24名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:54:17.17ID:7OK+atrh
> 国産化

こういうワードがいちいち出る
劣等感に満ち溢れたチョンらしい
25名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:55:02.63ID:my7kljfF
今どき技術も能力も実績もない国がやってもおせーよ
26名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 16:55:04.47ID:Y5PPTLOc
>>21
レーザーリソグラフィは3000万円で1ミクロンだな
27名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 17:04:29.57ID:W6I2lILB
ノーマル賞は
もらったにだ
2021/08/13(金) 17:06:15.16ID:o4njAR11
歩留まり最悪で放置、まで見えた
29名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 17:08:08.90ID:Fq3fxoK+
韓国が何度も半導体を国産化したって言うけど首根っこは日本にガッツリ掴まれてて無理な話ってレコチャイに書かれてたぞ
30名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 17:10:24.47ID:CHQUkWZu
バイオセンサー

いつできるの?
2021/08/13(金) 17:12:08.43ID:Gl2ln4/7
>>29
結局道具を作るための道具を内需で自国生産出来ないから輸入するしか無いっていう
32名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 17:20:53.67ID:78wBduiN
K6-2 300MHzを使うときが来たか
33名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 17:33:26.57ID:Cb9+QBfx
またじゃっぷからぬすんだのか
34名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 17:35:50.72ID:UtTYl4US
というか絶不調のニコンが作るステッパー(線じゃなくて面で一気に焼くやつ)が20−30nmぐらいだろ
今時の最先端プロセスも配線は大体これくらいで作っている

ちなみに日本電子の線で描く(遅いからマスク作成や特殊なデバイスに使ったりする)
電子線ビーム描画装置が数nmらしい

なんでワザワザ分解能が30年前の水準のを
波長が長い光なんかのビームで作ろうとしたんだろうか???
35名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 17:44:41.78ID:qTmMg7WD
メイド・イン・チョンコ ( ´,_ゝ`)プッ
2021/08/13(金) 17:57:35.22ID:Be30DSqH
まずは自分で車輪を作れるようになろうな
2021/08/13(金) 18:06:34.81ID:PMPte+NR
国からの支援でなに作ってんの?
38名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 18:27:27.10ID:0KTjQxqN
400nmって国からお金貰って作ってみたけどこの程度しか出来ませんでしたってやつだろ?w
39名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 18:41:29.86ID:TKmkhkQ/
素人だけど、走査速度が格段に速いとか何か売りが有るんじゃ無いの?
2021/08/13(金) 18:50:08.73ID:plS9KfVb
日本の特許使わない様に試行錯誤した結果が400nm5なのかな?
41名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 19:04:26.22ID:/dSTidGW
サムスン元社長が中国半導体企業の経営陣に!業界に衝撃走る=韓国ネットは猛批判

https://www.recordchina.co.jp/b813054-s0-c20-d0127.html

泥棒サムスンが日本にした通り中国にやられています
神の国日本で泥棒を働いた極悪人に
もうすぐ天罰が下ります
42名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 19:04:58.32ID:/dSTidGW
泥棒サムスンが盗んだ日本の技術
https://diamond.jp/articles/-/44210

ある有名エンジニアが
突然、姿を消してしまった
サムスンにまんまとやられたお人よし日本 あほ日本
43名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 19:05:32.69ID:/dSTidGW
特許泥棒サムスンを米国が徹底調査
アメリカが激おこ
http://www.kjclub.com/jp/board/exc_board_9/view/id/3245459
世界中で盗みまくりの大泥棒
もうすぐ天罰が下ります
44名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 19:06:15.92ID:/dSTidGW
サムスンは日本で暴れまくり
こんなこと許していいのか
サムスンに買われた日本の技術者ランキング
https://diamond.jp/articles/-/44461
どれだけいるんだ みんな使い捨て 公安の方しっかり調査してください
45名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 19:06:55.23ID:/dSTidGW
東芝社長 佐波 正一 東京大学電気工学卒
 サムスンに半導体の技術供与 当時日立の社長が技術流失になるからやめろと警告
 サムスンは世界一の半導体会社に成長 日本の半導体産業壊滅
46名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 19:12:29.05ID:AbkbBj3v
【国産にハングル】 意図不明な表記は、規制すべき
http://matsuri.5ch.net/test/read.cgi/peko/1590651095/l50
2021/08/13(金) 19:26:52.52ID:JaflLvWa
えっとぉ、0.4μm?
48名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 19:34:45.05ID:eusTzFdE
>>1
400ピコメートルの間違いですよね???
2021/08/13(金) 19:40:34.73ID:o2rHd/Y8
年賀状が捗りそうだな
50名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 19:52:27.55ID:tsD7fy23
>>1これからは4nm(nm=ナノメートル、10億分の1メートル)クラスの微細加工技術を使わないと、処理能力・消費電力など、
  基本的な特性要求を満たせないらしいよ。400nm級技術で大丈夫なのかぁ?
51名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 20:06:07.45ID:TnYC97uc
プークスクス
52名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 20:12:35.08ID:Amg4i5CX
今回開発された技術を適用すると、既存のリソグラフィ技術で実装するのには限界がある3次元ナノ-マイクロ複合構造体を実現することができるだけでなく、
任意の形状の表面にもナノ構造体を実現することができるとKIMMは強調した。

イム・ヒョンジュン責任研究員は、「レーザー直接リソグラフィは、機械、光学、材料、電子工学など様々な分野が融合される代表技術」であるとし、
「生産工程の経済性を大幅に向上させることができ、今後の世界市場の主導権を確保することが期待される」と述べた。

よくわからんけど他国より進んでるのか?
53名無しのひみつ
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2021/08/13(金) 21:46:52.42ID:eMIeKJFv
>>5
基本技術が全く活かされず研究費用削減されるくらいならパクられて世に活かされる方がマシだろw
ってか基本ならパクリもクソもなくね
54名無しのひみつ
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2021/08/14(土) 00:12:34.73ID:RVLTGFGN
自慢が足りないので よくわからない
2021/08/14(土) 01:25:01.37ID:LUlUoOv3
>>53
パクリはパクリだよ
2021/08/14(土) 01:31:25.35ID:XEOdzOYQ
プリントゴッコみたいな奴
2021/08/14(土) 02:44:42.65ID:WFi5I/wu
数字ミスだろ。こんなの30年前に通過してる。いくら後進国でもこれはないわ
58名無しのひみつ
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2021/08/14(土) 03:12:53.17ID:glO2xqs4
二桁違わないか?
2021/08/14(土) 07:55:15.71ID:hUZCu7bT
ホルホルホルホルホル
60名無しのひみつ
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2021/08/14(土) 11:00:57.44ID:eMdqwBQU
ヤグとか可視光の波長ならそんなものだろ
2021/08/14(土) 11:09:28.96ID:Kuzam21p
特許取得か

3Dリソグラフィはまだこれからの分野だしな

集積回路が3D化するのは必然
そしてナノマシンの時代か
2021/08/14(土) 11:16:51.63ID:64euMaFi
これは画期的だな

チップもChip-StackingやWafer-StackingなどのいわゆるSystems on Integrated Chipsではなく、Systems Inexhaustibleが主流となり、形状もCube typeなどが登場するだろう
63名無しのひみつ
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2021/08/14(土) 11:17:41.46ID:yz2I6mLq
マスクレス露光より優れた点があるんかな?ってソースの写真見たらほんとにライバルはマスクレス露光機だねこれは。

0.4umならふつうはKrFのスキャナがあるから、こんな描画が遅いの製品には使われないから、研究開発用でしょう。
64名無しのひみつ
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2021/08/14(土) 11:40:02.32ID:qv3X91fl
どっかの高校の実験で出来たとかなら誇ってもいいぞ
65名無しのひみつ
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2021/08/14(土) 12:22:45.93ID:YTJ000YR
投影用のバケモノのような光学系がいらんってことでないの?
レーザーマーカーの微細版のような。
2021/08/16(月) 05:22:58.84ID:7+26STTU
日本だと40年前レベルの技術ですね
67名無しのひみつ
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2021/08/19(木) 23:56:08.11ID:Axus2yUF
>>3
線幅嫁よ
腐ったレジストでも抜けるわい
68名無しのひみつ
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2021/08/20(金) 00:22:53.08ID:uXOVTw7G
>波長が405㎚の青紫色レーザーダイオードを利用して、400㎚サイズの非常に微細な焦点を作り

市販のステージ顕微鏡の照明系改造し
40倍対物付けて出来上がりだわ
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