韓国機械研究院、400nm級の超微細半導体回路リソグラフィ装置を国産化
韓国科学省傘下の韓国機械研究院(KIMM)が、韓国で初めて400nm(ナノメートル)級のレーザー直接描画(リソグラフィ)装置の国産化に成功した。
半導体の生産性を飛躍的に向上させることができる技術として期待を集めている。
KIMMの研究チームは、400nmレベルの微細な焦点を毎秒40mm速度で移動し、基板上にコーティングされたレジストを加工することができるレーザーリソグラフィ装置を開発した。
(以下略、続きはソースでご確認下さい)
コリア・エコノミクス 2021年8月12日 2021年8月12日
http://korea-economics.jp/posts/21081208/
【半導体】韓国機械研究院、400nm級の超微細半導体回路リソグラフィ装置を国産化 [すらいむ★]
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1すらいむ ★
2021/08/13(金) 16:21:06.38ID:CAP_USER2名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:25:13.69ID:CHQUkWZu 400nm級の超微細半導体回路?
今 最新 2nm出なかった?
今 最新 2nm出なかった?
3名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:25:23.83ID:a+Udyx9b >>1
日本がレジストを輸出禁止にしたらどうなるの?
日本がレジストを輸出禁止にしたらどうなるの?
4名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:25:28.94ID:W86efJ5c チョッパリざまぁwww
5名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:26:33.90ID:4IG7o0Ij その基本の技術は全て日本からパクったもの。
2021/08/13(金) 16:27:37.30ID:u5O5HeXD
これはすごいこと?
7名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:29:42.85ID:nJ+4doYn 切り離すのに使うのはディスコ頼り
8名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:30:11.32ID:CHQUkWZu 大日本印刷、5ナノメートル対応 EUVリソグラフィ向けフォト ...
bakatixyon
bakatixyon
9名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:31:36.74ID:CHQUkWZu 400nm
もしかして 1990年ころの技術
もしかして 1990年ころの技術
10名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:36:00.74ID:jtPTCODT >>4
木炭車
木炭車
11名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:37:18.28ID:m0VLUgcW パターンニングしてるだけのように感じるね
今ならEUVのレチクルを大日凸版印が作る様だね
今ならEUVのレチクルを大日凸版印が作る様だね
12名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:37:29.57ID:vkoEpc/l >>4
良かったねシコリアンw
良かったねシコリアンw
13名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:38:22.13ID:JNjcAQBE 現場で使えるようになるのは3年後です ってオチだろw
14名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:40:04.85ID:9fzZL4Dp 400nmを今頃? ブッッ
15名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:40:21.36ID:CHQUkWZu 文ちゃん! 喜びの歌 歌って
16名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:40:51.01ID:9oQzBSW3 ザイコも国産化したら
17名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:43:44.08ID:b500BJeF コリアエコノミクスとか韓国の電機関係ニュースは面白くていいわ
ニュースイッチ見ててもあんま夢がない
ニュースイッチ見ててもあんま夢がない
18名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:43:46.58ID:CHQUkWZu 100円ショップで売っているLEDライトの基盤みたいなもんか
19名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:46:04.80ID:CHQUkWZu こんなもの取り上げて
はずかしくないの
はずかしくないの
20名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:47:20.58ID:CQA8l+vw 400ナノメートルで微細てやっぱキチガイはちがうな
21名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:47:32.35ID:LF2tDush レーザーリソグラフィだとマスクレスにできるけど、解像度が低い。400nmだと近紫外かなあ。
でもマスクレスは電子線リソグラフィが主流かと思っていたけど…
でもマスクレスは電子線リソグラフィが主流かと思っていたけど…
22名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:51:24.50ID:8PBuPzvt 30年ぐらい前はクオーツマスクを投入すると
アンローディングされるのに20日ぐらいかかっていたのだ
アンローディングされるのに20日ぐらいかかっていたのだ
23名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:53:27.11ID:VMe2SLyH また韓国が先進技術で世界の度肝を抜いたのか
技術大国と称される韓国だが日本は相手にもされずアメリカさえ抜いた可能性ある
技術大国と称される韓国だが日本は相手にもされずアメリカさえ抜いた可能性ある
24名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:54:17.17ID:7OK+atrh > 国産化
こういうワードがいちいち出る
劣等感に満ち溢れたチョンらしい
こういうワードがいちいち出る
劣等感に満ち溢れたチョンらしい
25名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:55:02.63ID:my7kljfF 今どき技術も能力も実績もない国がやってもおせーよ
26名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:55:04.47ID:Y5PPTLOc >>21
レーザーリソグラフィは3000万円で1ミクロンだな
レーザーリソグラフィは3000万円で1ミクロンだな
27名無しのひみつ
2021/08/13(金) 17:04:29.57ID:W6I2lILB ノーマル賞は
もらったにだ
もらったにだ
28名無しのひみつ
2021/08/13(金) 17:06:15.16ID:o4njAR11 歩留まり最悪で放置、まで見えた
29名無しのひみつ
2021/08/13(金) 17:08:08.90ID:Fq3fxoK+ 韓国が何度も半導体を国産化したって言うけど首根っこは日本にガッツリ掴まれてて無理な話ってレコチャイに書かれてたぞ
30名無しのひみつ
2021/08/13(金) 17:10:24.47ID:CHQUkWZu バイオセンサー
いつできるの?
いつできるの?
32名無しのひみつ
2021/08/13(金) 17:20:53.67ID:78wBduiN K6-2 300MHzを使うときが来たか
33名無しのひみつ
2021/08/13(金) 17:33:26.57ID:Cb9+QBfx またじゃっぷからぬすんだのか
34名無しのひみつ
2021/08/13(金) 17:35:50.72ID:UtTYl4US というか絶不調のニコンが作るステッパー(線じゃなくて面で一気に焼くやつ)が20−30nmぐらいだろ
今時の最先端プロセスも配線は大体これくらいで作っている
ちなみに日本電子の線で描く(遅いからマスク作成や特殊なデバイスに使ったりする)
電子線ビーム描画装置が数nmらしい
なんでワザワザ分解能が30年前の水準のを
波長が長い光なんかのビームで作ろうとしたんだろうか???
今時の最先端プロセスも配線は大体これくらいで作っている
ちなみに日本電子の線で描く(遅いからマスク作成や特殊なデバイスに使ったりする)
電子線ビーム描画装置が数nmらしい
なんでワザワザ分解能が30年前の水準のを
波長が長い光なんかのビームで作ろうとしたんだろうか???
35名無しのひみつ
2021/08/13(金) 17:44:41.78ID:qTmMg7WD メイド・イン・チョンコ ( ´,_ゝ`)プッ
36名無しのひみつ
2021/08/13(金) 17:57:35.22ID:Be30DSqH まずは自分で車輪を作れるようになろうな
37名無しのひみつ
2021/08/13(金) 18:06:34.81ID:PMPte+NR 国からの支援でなに作ってんの?
38名無しのひみつ
2021/08/13(金) 18:27:27.10ID:0KTjQxqN 400nmって国からお金貰って作ってみたけどこの程度しか出来ませんでしたってやつだろ?w
39名無しのひみつ
2021/08/13(金) 18:41:29.86ID:TKmkhkQ/ 素人だけど、走査速度が格段に速いとか何か売りが有るんじゃ無いの?
40名無しのひみつ
2021/08/13(金) 18:50:08.73ID:plS9KfVb 日本の特許使わない様に試行錯誤した結果が400nm5なのかな?
41名無しのひみつ
2021/08/13(金) 19:04:26.22ID:/dSTidGW サムスン元社長が中国半導体企業の経営陣に!業界に衝撃走る=韓国ネットは猛批判
https://www.recordchina.co.jp/b813054-s0-c20-d0127.html
泥棒サムスンが日本にした通り中国にやられています
神の国日本で泥棒を働いた極悪人に
もうすぐ天罰が下ります
https://www.recordchina.co.jp/b813054-s0-c20-d0127.html
泥棒サムスンが日本にした通り中国にやられています
神の国日本で泥棒を働いた極悪人に
もうすぐ天罰が下ります
42名無しのひみつ
2021/08/13(金) 19:04:58.32ID:/dSTidGW 泥棒サムスンが盗んだ日本の技術
https://diamond.jp/articles/-/44210
ある有名エンジニアが
突然、姿を消してしまった
サムスンにまんまとやられたお人よし日本 あほ日本
https://diamond.jp/articles/-/44210
ある有名エンジニアが
突然、姿を消してしまった
サムスンにまんまとやられたお人よし日本 あほ日本
43名無しのひみつ
2021/08/13(金) 19:05:32.69ID:/dSTidGW 特許泥棒サムスンを米国が徹底調査
アメリカが激おこ
http://www.kjclub.com/jp/board/exc_board_9/view/id/3245459
世界中で盗みまくりの大泥棒
もうすぐ天罰が下ります
アメリカが激おこ
http://www.kjclub.com/jp/board/exc_board_9/view/id/3245459
世界中で盗みまくりの大泥棒
もうすぐ天罰が下ります
44名無しのひみつ
2021/08/13(金) 19:06:15.92ID:/dSTidGW サムスンは日本で暴れまくり
こんなこと許していいのか
サムスンに買われた日本の技術者ランキング
https://diamond.jp/articles/-/44461
どれだけいるんだ みんな使い捨て 公安の方しっかり調査してください
こんなこと許していいのか
サムスンに買われた日本の技術者ランキング
https://diamond.jp/articles/-/44461
どれだけいるんだ みんな使い捨て 公安の方しっかり調査してください
45名無しのひみつ
2021/08/13(金) 19:06:55.23ID:/dSTidGW 東芝社長 佐波 正一 東京大学電気工学卒
サムスンに半導体の技術供与 当時日立の社長が技術流失になるからやめろと警告
サムスンは世界一の半導体会社に成長 日本の半導体産業壊滅
サムスンに半導体の技術供与 当時日立の社長が技術流失になるからやめろと警告
サムスンは世界一の半導体会社に成長 日本の半導体産業壊滅
46名無しのひみつ
2021/08/13(金) 19:12:29.05ID:AbkbBj3v47名無しのひみつ
2021/08/13(金) 19:26:52.52ID:JaflLvWa えっとぉ、0.4μm?
48名無しのひみつ
2021/08/13(金) 19:34:45.05ID:eusTzFdE >>1
400ピコメートルの間違いですよね???
400ピコメートルの間違いですよね???
49名無しのひみつ
2021/08/13(金) 19:40:34.73ID:o2rHd/Y8 年賀状が捗りそうだな
50名無しのひみつ
2021/08/13(金) 19:52:27.55ID:tsD7fy23 >>1これからは4nm(nm=ナノメートル、10億分の1メートル)クラスの微細加工技術を使わないと、処理能力・消費電力など、
基本的な特性要求を満たせないらしいよ。400nm級技術で大丈夫なのかぁ?
基本的な特性要求を満たせないらしいよ。400nm級技術で大丈夫なのかぁ?
51名無しのひみつ
2021/08/13(金) 20:06:07.45ID:TnYC97uc プークスクス
52名無しのひみつ
2021/08/13(金) 20:12:35.08ID:Amg4i5CX 今回開発された技術を適用すると、既存のリソグラフィ技術で実装するのには限界がある3次元ナノ-マイクロ複合構造体を実現することができるだけでなく、
任意の形状の表面にもナノ構造体を実現することができるとKIMMは強調した。
イム・ヒョンジュン責任研究員は、「レーザー直接リソグラフィは、機械、光学、材料、電子工学など様々な分野が融合される代表技術」であるとし、
「生産工程の経済性を大幅に向上させることができ、今後の世界市場の主導権を確保することが期待される」と述べた。
よくわからんけど他国より進んでるのか?
任意の形状の表面にもナノ構造体を実現することができるとKIMMは強調した。
イム・ヒョンジュン責任研究員は、「レーザー直接リソグラフィは、機械、光学、材料、電子工学など様々な分野が融合される代表技術」であるとし、
「生産工程の経済性を大幅に向上させることができ、今後の世界市場の主導権を確保することが期待される」と述べた。
よくわからんけど他国より進んでるのか?
53名無しのひみつ
2021/08/13(金) 21:46:52.42ID:eMIeKJFv54名無しのひみつ
2021/08/14(土) 00:12:34.73ID:RVLTGFGN 自慢が足りないので よくわからない
56名無しのひみつ
2021/08/14(土) 01:31:25.35ID:XEOdzOYQ プリントゴッコみたいな奴
57名無しのひみつ
2021/08/14(土) 02:44:42.65ID:WFi5I/wu 数字ミスだろ。こんなの30年前に通過してる。いくら後進国でもこれはないわ
58名無しのひみつ
2021/08/14(土) 03:12:53.17ID:glO2xqs4 二桁違わないか?
59名無しのひみつ
2021/08/14(土) 07:55:15.71ID:hUZCu7bT ホルホルホルホルホル
60名無しのひみつ
2021/08/14(土) 11:00:57.44ID:eMdqwBQU ヤグとか可視光の波長ならそんなものだろ
61名無しのひみつ
2021/08/14(土) 11:09:28.96ID:Kuzam21p 特許取得か
3Dリソグラフィはまだこれからの分野だしな
集積回路が3D化するのは必然
そしてナノマシンの時代か
3Dリソグラフィはまだこれからの分野だしな
集積回路が3D化するのは必然
そしてナノマシンの時代か
62名無しのひみつ
2021/08/14(土) 11:16:51.63ID:64euMaFi これは画期的だな
チップもChip-StackingやWafer-StackingなどのいわゆるSystems on Integrated Chipsではなく、Systems Inexhaustibleが主流となり、形状もCube typeなどが登場するだろう
チップもChip-StackingやWafer-StackingなどのいわゆるSystems on Integrated Chipsではなく、Systems Inexhaustibleが主流となり、形状もCube typeなどが登場するだろう
63名無しのひみつ
2021/08/14(土) 11:17:41.46ID:yz2I6mLq マスクレス露光より優れた点があるんかな?ってソースの写真見たらほんとにライバルはマスクレス露光機だねこれは。
0.4umならふつうはKrFのスキャナがあるから、こんな描画が遅いの製品には使われないから、研究開発用でしょう。
0.4umならふつうはKrFのスキャナがあるから、こんな描画が遅いの製品には使われないから、研究開発用でしょう。
64名無しのひみつ
2021/08/14(土) 11:40:02.32ID:qv3X91fl どっかの高校の実験で出来たとかなら誇ってもいいぞ
65名無しのひみつ
2021/08/14(土) 12:22:45.93ID:YTJ000YR 投影用のバケモノのような光学系がいらんってことでないの?
レーザーマーカーの微細版のような。
レーザーマーカーの微細版のような。
66名無しのひみつ
2021/08/16(月) 05:22:58.84ID:7+26STTU 日本だと40年前レベルの技術ですね
67名無しのひみつ
2021/08/19(木) 23:56:08.11ID:Axus2yUF68名無しのひみつ
2021/08/20(金) 00:22:53.08ID:uXOVTw7G >波長が405㎚の青紫色レーザーダイオードを利用して、400㎚サイズの非常に微細な焦点を作り
市販のステージ顕微鏡の照明系改造し
40倍対物付けて出来上がりだわ
市販のステージ顕微鏡の照明系改造し
40倍対物付けて出来上がりだわ
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