レーザーリソグラフィだとマスクレスにできるけど、解像度が低い。400nmだと近紫外かなあ。
でもマスクレスは電子線リソグラフィが主流かと思っていたけど…
【半導体】韓国機械研究院、400nm級の超微細半導体回路リソグラフィ装置を国産化 [すらいむ★]
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21名無しのひみつ
2021/08/13(金) 16:47:32.35ID:LF2tDush■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています
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