半導体の生命線「蛍石」　高純度で生成、世界初の大型プラント製造　住友電設と名古屋工大 [すらいむ★]

半導体の生命線「蛍石」　高純度で生成、世界初の大型プラント製造　住友電設と名古屋工大

　半導体製造に不可欠な鉱物「蛍石（ほたるいし）」（フッ化カルシウム）を高純度で生成する大型プラントを、住友電設と名古屋工業大の安井晋示教授が完成させた。
　電気設備の絶縁ガスなどとして使われている六フッ化硫黄（SF6）を回収して蛍石を生成するもので、実用レベルでは世界初。
　日本は蛍石を中国などからの輸入に依存しており、プラント実用化が進めば安定供給につながると期待される。

（以下略、続きはソースでご確認ください）

産経新聞　2026/3/24 09:00
https://www.sankei.com/article/20260324-YTL264T5NFMRZFWDB2HZ6QGQVU/

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