>>5で記載されている[互いにかみ合うようにより強く結合した界面を作ること]が理由で結合部分を含めると

原子の大きさが約0.1 nm + 隙間が約0.14 nm = 約0.24 nm

半導体としての最小での大きさで動作するのは理論値では[約0.24 nm]が限界という事でしょうか?