エネルギー変換効率4割増…理研など、レーザー2本でEUV光源
9/7(月) 16:10配信
https://news.yahoo.co.jp/articles/74ca8fabb7004e850dd28ee5a73faf650c3fd183
理化学研究所の高橋栄治チームディレクターと宇都宮大学の長浜直輝大学院生、東口武史教授らは、2本のレーザーで極端紫外線（EUV）光源を作ることに成功した。レーザー1本よりもエネルギー変換効率が4割向上した。1本の高出力レーザーに頼るのではなく、複数の高効率レーザーを束ねて出力を確保する装置設計が可能になる。

ホルミウム添加YAG固体レーザーをスズ平板に照射してプラズマを発生させる。スズプラズマからEUVが放出されるため、EUV光源の大きさや変換効率を検証した。

総エネルギー量を40ミリジュールにそろえてレーザーを1本照射する条件と2本照射する条件を比較すると、それぞれEUV光変換率が2・6％と3・6％になった。2本使うと4割変換効率が向上する。レーザーで加熱されるプラズマ領域が広がり、プラズマが冷えにくくなったと考えられる。

EUV光源の大きさは本数を増やしても60マイクロ―70マイクロメートル（マイクロは100万分の1）で変わらない。露光装置に求められる100マイクロメートル以下に収まった。

現行の炭酸ガスレーザーは変換効率が数％と低く、EUV露光装置1台で100万ワット超の電力を使うことが課題となっている。