東大 生研など、ゲートオールアラウンド型酸化物半導体トランジスタを開発

　東京大学 生産技術研究所(東大 生研)と奈良先端科学技術大学院大学(NAIST)は、原子層堆積(ALD)法を用いて結晶化した酸化物半導体を形成する技術を開発し、トランジスタの高性能化と高信頼性化を実現したことを発表。
　さらに同技術を用いて、「ゲートオールアラウンド型酸化物半導体トランジスタ」の開発に成功したことも明らかにした。

（以下略、続きはソースでご確認ください）

マイナビニュース　2025/06/06 19:09
https://news.mynavi.jp/techplus/article/20250606-3345911/