あんまり注目されてないけど、荏原はドライ真空ポンプも強い🥺
レシプロタイプだとオイル使うけど、荏原はオイルレスやねん。半導体装置の中、真空効かせるとき、万一故障して正圧になっても、絶対油分が逆流しないようになってる🥺